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华中科技大学纳米图形发生系统单一来源公告

2020年06月30日 18:44 来源:打印

公告概要:
公告信息:
采购项目名称纳米图形发生系统
品目

货物/专用设备/专用仪器仪表/其他专用仪器仪表

采购单位华中科技大学
行政区域湖北省公告时间2020年06月30日 18:44
预算金额¥560.000000万元(人民币)
联系人及联系方式:
项目联系人李老师
项目联系电话87540659
采购单位华中科技大学
采购单位地址湖北省武汉市洪山区华中科技大学大学生活动中心A205室
采购单位联系方式87540659,hustcgzx@hust.edu.cn
代理机构名称详见公告正文
代理机构地址详见公告正文
代理机构联系方式详见公告正文

  根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定,现对纳米图形发生系统进行单一来源招标,欢迎合格的供应商前来投标。

 

项目名称:纳米图形发生系统

项目编号:HZ20200046

项目联系方式:

项目联系人:李老师

项目联系电话:87540659

 

采购单位联系方式:

采购单位:华中科技大学

采购单位地址:湖北省武汉市洪山区华中科技大学大学生活动中心A205室

采购单位联系方式:87540659,hustcgzx@hust.edu.cn

 

 

一、拟采购的货物或者服务的说明:

随着Si材料电力电子器件逐渐接近其理论极限值,利用宽禁带半导体材料制造的电力电子器件显示出比Si和GaAs更优异的特性,给电力电子产业的发展带来了新的生机。相对于Si材料,使用宽禁带半导体材料(以氮化镓和碳化硅为代表)制造新一代的电力电子器件,可以变得更小、更快、更可靠和更高效。这将减少电力电子元件的质量、体积以及生命周期成本,允许设备在更高的温度、电压和频率下工作,使得电子电子器件使用更少的能量却可以实现更高的性能,是世界各国半导体研究领域的热点。 已建成的微纳加工平台目前拥有400 m2工艺实验室面积,现可以开展光刻辅助的匀胶、喷胶、烘胶、显影、腐蚀、高温扩散氧化退火、原子层沉积等工艺;工艺测试区主要有扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜、高低温探针台、半导体特性参数测试仪、大功率手动探针台、功率器件分析仪等。因此,为了充分和现有平台的条件进行结合,在制备半导体器件过程中还缺少最核心也是最重要的设备:纳米图形发生系统。该设备的购置将极大地提高现有微纳平台对的效率和科研的进度,为电力电子器件的研究提供保障。该设备的购置将为众多学科领域特别是半导体、光学、材料、物理等领域的用户研究提供支持。

 

二、采用单一来源采购方式的原因及相关说明:

纳米图形发生系统是加工纳米结构器件的必备手段,该设备的购置将极大地提高现有微纳平台对的效率和科研的进度,为电力电子器件的研究提供保障,为众多学科领域特别是半导体、光学、材料、物理等领域的用户研究提供支持。

根据实验室科研的必须要求,拟购置的设备必须同时满足高分辨率(亚10nm)、高精度套刻、大小写场灵活调节、低电压加工能力、高分辨成像能力等技术指标。经调研,市面上仅德国RAITH GmbH 公司的eLINE PLUS纳米图形发生设备性能充分符合技术需求。该项采购符合《中华人民共和国政府采购法》第三十一条第一款“只能从唯一供应商处采购的”的情形。

 

三、开标时间:

 

四、拟定的唯一供应商名称及其地址:

建发(武汉)有限公司

 

五、其它补充事宜

 

六、预算金额

预算金额:560.0 万元(人民币)

 

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